| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR TRACKING INTEGRATED CIRCUIT DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0087286(B1) |
申请公布日期 |
1988.07.13 |
| 申请号 |
EP19830300849 |
申请日期 |
1983.02.18 |
| 申请人 |
PRECISION MONOLITHICS INC. |
发明人 |
MORTON, WILLIAM D., JR. |
| 分类号 |
H01L21/02;G01R31/28;G07C3/14;H01L21/66;H01L21/673;(IPC1-7):G07C3/14 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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