发明名称 APPARATUS AND METHODS FOR EFFECTING A BURN-IN PROCEDURE ON SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 GB2175445(B) 申请公布日期 1988.07.13
申请号 GB19860012184 申请日期 1986.05.20
申请人 * FTS SYSTEMS INC 发明人 DOUGLAS S * FRASER
分类号 B01D17/02;G01R31/26;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 B01D17/02
代理机构 代理人
主权项
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