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发明名称
APPARATUS AND METHODS FOR EFFECTING A BURN-IN PROCEDURE ON SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
GB2175445(B)
申请公布日期
1988.07.13
申请号
GB19860012184
申请日期
1986.05.20
申请人
* FTS SYSTEMS INC
发明人
DOUGLAS S * FRASER
分类号
B01D17/02;G01R31/26;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
B01D17/02
代理机构
代理人
主权项
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