发明名称
摘要
申请公布号 JPS6325733(Y2) 申请公布日期 1988.07.13
申请号 JP19830083937U 申请日期 1983.06.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H05K13/04;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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