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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6325733(Y2)
申请公布日期
1988.07.13
申请号
JP19830083937U
申请日期
1983.06.03
申请人
发明人
分类号
H01L21/52;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H05K13/04;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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