| 发明名称 |
FREMGANGSMAADE TIL FREMSTILLING AF N-DOTERET SILICIUM VED NEUTRONBESTRAALING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DK153429(B) |
申请公布日期 |
1988.07.11 |
| 申请号 |
DK19780005349 |
申请日期 |
1978.11.29 |
| 申请人 |
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH. |
发明人 |
HEINZ HERZER |
| 分类号 |
G21G1/06;H01L21/261;(IPC1-7):H01L21/26;C30B31/22 |
主分类号 |
G21G1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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