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发明名称
APPARATUR ZUM BEHANDELN INSBESONDERE BESCHICHTEN VON WERK STUECKOBERFLAECHEN
摘要
申请公布号
DE1639042(B2)
申请公布日期
1971.05.19
申请号
DE19671639042
申请日期
1967.08.09
申请人
发明人
分类号
C23C8/00;C23C16/00;C23C16/503;H01J37/34;H01L23/29;H05H1/24;H05H1/26
主分类号
C23C8/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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