发明名称 |
MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR WITH SELF-ALIGNING GATE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS63164477(A) |
申请公布日期 |
1988.07.07 |
申请号 |
JP19870314332 |
申请日期 |
1987.12.14 |
申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
JIYON EDOWAADO KANINGUHAMU;AADOMAN FURETSUDO SHIYUBAATO;UON TEIEN TSUANGU |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/308;H01L21/338;H01L29/43;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|