发明名称 MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR WITH SELF-ALIGNING GATE
摘要
申请公布号 JPS63164477(A) 申请公布日期 1988.07.07
申请号 JP19870314332 申请日期 1987.12.14
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 JIYON EDOWAADO KANINGUHAMU;AADOMAN FURETSUDO SHIYUBAATO;UON TEIEN TSUANGU
分类号 H01L21/28;H01L21/308;H01L21/338;H01L29/43;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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