发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiter- oder Dickfilmanordnung
摘要
申请公布号 DE1812130(A1) 申请公布日期 1971.06.24
申请号 DE19681812130 申请日期 1968.12.02
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 STORK,FRITZ
分类号 H01L21/00;H01L23/29;H01L23/482;H01L23/485;H01L49/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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