发明名称 METHOD OF FORMING HIGH DENSITY PATTERN FILM FOR PRINTED WIRING BOARD
摘要
申请公布号 JPS63164488(A) 申请公布日期 1988.07.07
申请号 JP19860313815 申请日期 1986.12.26
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 YAMADA TAKESHI;MORI MIKIO
分类号 G03F1/00;G03F1/68;G06F17/50;H05K3/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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