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发明名称 CONTROL REGULATION OF ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 JPS63164220(A) 申请公布日期 1988.07.07
申请号 JP19870311815 申请日期 1987.12.08
申请人 SIEMENS AG 发明人 KONRAATO HIIBAA
分类号 H01L21/66;C23F1/02;C23F4/00;G01B7/06;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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