| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING A THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0249211(A3) |
申请公布日期 |
1988.07.06 |
| 申请号 |
EP19870108382 |
申请日期 |
1987.06.10 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
SUKEGAWA, OSAMU C/O NEC CORPORATION |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/027;H01L21/336;H01L29/45;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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