发明名称 FREMGANGSMAADE TIL OPRETNING AF FOTOMASKINER, NAVNLIG FOTO-LITOGRAFISKE MASKER PAA FLADE ARBEJDSSTYKKER
摘要
申请公布号 DK373188(D0) 申请公布日期 1988.07.05
申请号 DK19880003731 申请日期 1988.07.05
申请人 AMERICAN TELEPHONE & TELEGRAPH COMPANY 发明人 HARVEY, GEORGE T.;WATKINS, LAURENCE S.
分类号 G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/30;G03F7/26 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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