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发明名称
摘要
申请公布号
JPS63102768(U)
申请公布日期
1988.07.04
申请号
JP19860196553U
申请日期
1986.12.19
申请人
发明人
分类号
G21K1/00;C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/08
主分类号
G21K1/00
代理机构
代理人
主权项
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