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发明名称
摘要
申请公布号	JPS63101874(U)	申请公布日期	1988.07.02
申请号	JP19860202679U	申请日期	1986.12.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/66;G01R31/26;H01L23/00;(IPC1-7):G01R31/26	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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