METHOD OF CONTROLLING EVAPORATED FILM THICKNESS,申请号JP19860306930-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF CONTROLLING EVAPORATED FILM THICKNESS
摘要
申请公布号	JPS63158826(A)	申请公布日期	1988.07.01
申请号	JP19860306930	申请日期	1986.12.23
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	YAMAMOTO SHOICHI;OKU MITSUMASA;SASAKI TOSHIHIRO
分类号	H01G4/015;H01G4/18	主分类号	H01G4/015
代理机构		代理人
主权项
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