发明名称 PIEZOELECTRISCHE KRISTALLIJNE FILM.
摘要 <p>Piezoelectric crystalline films which consist essentially of a crystalline zinc oxide film with a c-axis perpendicular to a substrate surface containing 0.01 to 20.0 atomic percent of manganese with or without 0.01 to 20.0 atomic percent of copper.</p>
申请公布号 NL183615(B) 申请公布日期 1988.07.01
申请号 NL19780000891 申请日期 1978.01.25
申请人 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. TE NAGAO-KAKYO, JAPAN. 发明人
分类号 H01L41/18;(IPC1-7):H01L41/18;H03H3/08 主分类号 H01L41/18
代理机构 代理人
主权项
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