发明名称
摘要
申请公布号 JPS63100829(U) 申请公布日期 1988.06.30
申请号 JP19860195654U 申请日期 1986.12.19
申请人 发明人
分类号 G03F7/00;C23F1/08;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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