| 摘要 |
Appareil et procédé de détection des grandes comme des petites fuites dans des composants tels que les fermetures hermétiques des composants électroniques, les petits composants en particulier. Le détecteur de fuite des petits composants comprend i) un récipient tel qu'une boîte à gants (14) maintenu à une pression d'environ une atmosphère et destiné à recevoir les objets à tester, ii) une sonde déplaçable située dans la boîte à gants, destinée à renifler et capter des échantillons du gaz de détection à proximité de l'objet à tester, iii) une pompe d'entraînement (16) consistant en une pompe getter ou en une pompe cryostatique placée entre la sonde d'échantillonnage et le détecteur de masse (18) pour mesurer le gaz à détecter et iv) un détecteur de masse. La pompe d'entraînement peut capter un gaz de purge, l'azote par exemple mais ne le fait pas pour un gaz de détection tel que l'hélium. |
