| 发明名称 |
CHAMBER-SITE WASHING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63156533(A) |
申请公布日期 |
1988.06.29 |
| 申请号 |
JP19870226731 |
申请日期 |
1987.09.11 |
| 申请人 |
BENJIN TECHNOL INC |
发明人 |
DEBITSUDO DABURIYU BENJIN |
| 分类号 |
B01J19/00;B01J19/08;B08B7/00;C23C16/44;C23G5/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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