发明名称 FLOW RATE CONTROL APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS63156135(A) 申请公布日期 1988.06.29
申请号 JP19860304776 申请日期 1986.12.20
申请人 YASKAWA ELECTRIC MFG CO LTD 发明人 HAYASHI HIDEYUKI;MATSUSHITA YASUSHI
分类号 E03F7/00;E03F9/00;F04D15/00;G01F15/12 主分类号 E03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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