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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6323706(Y2) 申请公布日期 1988.06.29
申请号 JP19840197990U 申请日期 1984.12.28
申请人 发明人
分类号 G03F1/00;G03F1/54;G03F1/66;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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