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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6323704(Y2) 申请公布日期 1988.06.29
申请号 JP19850081409U 申请日期 1985.05.30
申请人 发明人
分类号 G03F1/00;G03F1/62;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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