发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF DE MELANGE DE GAZ
摘要 <p>In an installation for treating workpieces by a glow discharge in a mixture of gases, the gas pressure is detected and valves for the various gases are cyclically and symmetrically opened and closed by amounts relative to the volumetric ratio of the gases.</p>
申请公布号 FR2454327(B1) 申请公布日期 1988.06.24
申请号 FR19800008687 申请日期 1980.04.18
申请人 KLOCKNER IONON GMBH 发明人
分类号 B01F15/04;B01F3/02;G05D11/13;(IPC1-7):01F15/04;01F3/02;23C11/00 主分类号 B01F15/04
代理机构 代理人
主权项
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