发明名称 A PROCESS FOR THE PRODUCTION OF SILICON NITRIDE
摘要 A process for the production of silicon nitride by reaction of silicon dioxide, carbon and nitrogen at temperatures above about 1300 DEG C. whereby a partial pressure of nitrogen above 1 bar is maintained during the reaction.
申请公布号 DE3471292(D1) 申请公布日期 1988.06.23
申请号 DE19843471292 申请日期 1984.03.26
申请人 KEMANORD AB 发明人 JOHANSSON, THOMAS
分类号 C01B21/068;(IPC1-7):C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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