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发明名称 PROCESS FOR MAKING CONTACT HOLES IN INSULATING LAYERS APPLIED TO SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 EP0205644(B1) 申请公布日期 1988.06.22
申请号 EP19850107887 申请日期 1985.06.25
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH 发明人 LACHER, MANFRED;PRUFER, GERD, DR.
分类号 H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/60 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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