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发明名称 EINRICHTUNG ZUR STATISTISCHEN BESCHICHTUNG VON SCHUETTGUT IN PLASMATRON-SPUTTERANLAGEN
摘要
申请公布号 DD257555(A3) 申请公布日期 1988.06.22
申请号 DD19860286301 申请日期 1986.01.20
申请人 FORSCHUNGSINSTITUT MANFRED VON ARDENNE,DD 发明人 HEISIG,ULLRICH,DD;GOEDICKE,KLAUS,DD;HARTUNG,JOHANNES,DD;PARTZSCH,JOACHIM,DD;LIEBERGELD,HORST,DD;BAUER,REINHARDT,DD;WUENSCHE,MATTHIAS,DD
分类号 C23C14/34;C23C14/50;H01C17/12;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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