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发明名称 Pre-metal deposition cleaning for bipolar semiconductors
摘要
申请公布号 US4752505(A) 申请公布日期 1988.06.21
申请号 US19870003532 申请日期 1987.01.13
申请人 HEWLETT-PACKARD COMPANY 发明人 ARAC, SABRI
分类号 H01L21/304;H01L21/285;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):B05D3/04;B05D3/10 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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