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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6394959(U)	申请公布日期	1988.06.18
申请号	JP19860187047U	申请日期	1986.12.04
申请人		发明人
分类号	C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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