发明名称 NEGATIVE TYPE PHOTORESIST
摘要
申请公布号 JPS63143537(A) 申请公布日期 1988.06.15
申请号 JP19870293127 申请日期 1987.11.21
申请人 EASTMAN KODAK CO 发明人 SAMIIRU YAKOBU FUARIDO;NIIRU FUREDERITSUKU HARII;ROJIYAA EDOUIN MUUDEII;DONARUDO PII SUPEKUTO
分类号 G03C1/00;C07D311/16;C08F2/50;G03F7/031 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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