镜面平整度测试仪

摘要

镜面平整度测试仪，依据于非相干系统的掠射式镜面莫尔轮廓法原理设计而成。它具有光源、带有间隙基准的光栅、测量台及成象系统。它只需要一块相当精度的特殊的带有间隙基准的平面光栅及简单的面光源，即可使仪器在观测范围的全场上达到微米级精度。把半导体工业用的硅片及家用冰箱压缩机中的阀片等轻而薄的平镜面放于光栅支承点上，让其处于自由状态，即可以测定它与支承点接触一侧的全场的面型平整度。

主权项

1、一种测量物体表面轮廓高差的莫尔轮廓测量装置，其特征在于它具有面光源、带有间隙基准的光栅[5]、测量台[4]及成象系统。