用于等离子处理的共用电流回路并联场装置和工艺

摘要

一个为磁控管气体放电的共用电流回路的，并联电场的装置和工艺。该装置包括一个含有气体组分的易于抽气的室。一个与电流回路相联的多部位阴极产生并联的独立的电场。阴极包括一用于产生第一电场的第一阴极部分，该第一电场形成包括离子的气体放电。第二阴极部分产生第二的独立的电场。第二独立电场从气体放电中取出离子，也可控制取出离子的能量，使其与要处理的物件碰撞。每个阴极部分是相互电绝缘并可接通到分离的电源上。

主权项

1、一磁控管气体放电装置包括：用于在其中包含有气体组分的易于抽气的室；用于在易于抽气的室中产生磁场的装置；多部位阴极装置，用于在上述室中形成至少一个无穷的电子电流回路，上述多部位阴极装置是设置于室内，并包括：第一极极部分装置，是用于形成包括离子的等离子气体放电，并产生第一电场，它与磁场相互作用以产生无穷的电子电流回路，第一阴极部分装置是与第一电源接通的，和第二阴极部分装置，与同样的电子电流回路相联，用于产生第二独立电场，与气体放电相互作用并从气体放电取出离子而与被进行处理的物件相碰撞，第二阴极部分装置与第二电源相接通。