SILICON-INTEGRATED PICK-UP FOR MEASURING MECHANICAL MAGNITUDES, AND METHOD OF FABRICATION.

摘要

Le capteur comprend une lame conductrice (4) déformable en flexion dont une extrémité libre (43) constitue la première armature d'un condensateur variable dont la seconde armature fixe (24) est constituée par une zone conductrice formée sur le substrat en silicium. Une structure du type transistor JFET est formée au voisinage du point d'ancrage (41) de la lame (4) avec une zone de grille (21) située sous la partie d'ancrage (41) et des zones de drain et de source (22, 23) réalisées de part et d'autre de la zone de grille (21), pour amplifier un signal représentatif des variations de position de la lame flexible (4). Application aux accéléromètres, capteurs de pression.