发明名称 SELECTIVE EPITAXY BI-CMOS PROCESS
摘要
申请公布号 JPS63140562(A) 申请公布日期 1988.06.13
申请号 JP19870250822 申请日期 1987.10.06
申请人 FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP 发明人 POORU EFU HAUERU
分类号 H01L21/02;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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