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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6328991(B2)	申请公布日期	1988.06.10
申请号	JP19800134170	申请日期	1980.09.26
申请人	EATON CORP	发明人	JON ZAJATSUKU
分类号	C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
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