| 发明名称 |
TOOL FOR MANUFACTURING ELECTRONIC PARTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63139079(A) |
申请公布日期 |
1988.06.10 |
| 申请号 |
JP19860285264 |
申请日期 |
1986.11.29 |
| 申请人 |
IBIDEN CO LTD |
发明人 |
NODA ATSUYUKI;KOBAYASHI TSUGIO |
| 分类号 |
C04B38/00;H01L21/22;H01L21/673;H01L21/68;H01L23/02 |
主分类号 |
C04B38/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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