LASERSTRAHL-LITHOGRAPH,申请号DE19843427611-传众专利搜索

发明名称	LASERSTRAHL-LITHOGRAPH
摘要
申请公布号	DE3427611(A1)	申请公布日期	1988.06.09
申请号	DE19843427611	申请日期	1984.07.26
申请人	BILLE, JOSEF, PROF. DR.;HUNKLINGER, SIEGFRIED, PROF. DR., 6900 HEIDELBERG, DE	发明人	BILLE, JOSEF, PROF. DR.;HUNKLINGER, SIEGFRIED, PROF. DR., 6900 HEIDELBERG, DE
分类号	G02B26/10;G02B7/28;G02B26/06;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;H01L21/268;H01L21/82	主分类号	G02B26/10
代理机构		代理人
主权项
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