发明名称 IMPROVED METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 GB8810806(D0) 申请公布日期 1988.06.08
申请号 GB19880010806 申请日期 1988.05.06
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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