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发明名称 LASER LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP0173849(A3) 申请公布日期 1988.06.08
申请号 EP19850109357 申请日期 1985.07.25
申请人 BILLE, JOSEF, PROF. DR.;HUNKLINGER, SIEGFRIED, PROF. DR. 发明人 BILLE, JOSEF, PROF. DR.
分类号 G02B26/10;G02B7/28;G02B26/06;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/00;G02B7/11 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
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