| 发明名称 |
A METHOD FOR PRODUCING THIN CONDUCTIVE AND SEMI-CONDUCTIVE LAYERS IN MONOCRYSTAL SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0259282(A3) |
申请公布日期 |
1988.06.08 |
| 申请号 |
EP19870850234 |
申请日期 |
1987.07.21 |
| 申请人 |
STIFTELSEN INSTITUTET FOR MIKROVAGSTEKNIK VID TEKNISKA HOGSKOLAN I STOCKHOLM |
发明人 |
PETERSON, STURE |
| 分类号 |
H01L29/872;H01L21/265;H01L21/3205;H01L21/74;H01L23/52;H01L29/47;H01L29/68;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L29/872 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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