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发明名称 METHOD OF FORMING THIN PHOTORESIST LINES ON THE SURFACE OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0160248(A3) 申请公布日期 1988.06.08
申请号 EP19850104593 申请日期 1985.04.17
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BADAMI, DINESH ARVINDLAL;HAKEY, MARK CHARLES;MORITZ, HOLGER
分类号 H01L21/027;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/308 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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