| 发明名称 |
A METHOD FOR REACTIVE EVAPORATION DEPOSITION OF LAYERS OF OXIDES NITRIDES OXYNITRIDES AND CARBIDES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2171726(B) |
申请公布日期 |
1988.06.08 |
| 申请号 |
GB19860000468 |
申请日期 |
1986.01.09 |
| 申请人 |
* BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
EBERHARD * MOLL;HANS KARL * PULKER;WALTER * HAAG |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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