发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS63135000(A) 申请公布日期 1988.06.07
申请号 JP19860282794 申请日期 1986.11.26
申请人 KAWASAKI HEAVY IND LTD 发明人 KOGA SHINJI;OKADA KOICHI;YAMAZAKI SEIICHIRO
分类号 G21K1/04;G21B1/00;G21K1/093;G21K5/04;H01J37/147 主分类号 G21K1/04
代理机构 代理人
主权项
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