APPARATUS FOR OBSERVATION USING CHARGED PARTICLE BEAMS AND METHOD OF SURFACE OBSERVATION USING CHARGED PARTICLE BEAMS

摘要

Un dispositif excitateur (51) produisant un intense champ magnétique pratiquement perpendiculaire à la surface d'un spécimen est placé dans un appareil d'observation utilisant des faisceaux de particules chargées, lequel appareil irradie le spécimen avec les faisceaux de particules chargées et détecte les électrons secondaire produits pour permettre l'observation de la surface du spécimen. Les électrons secondaires émis depuis le fond ou depuis la surface latérale d'un évidement tel qu'un trou traversant ménagé dans la surface du spécimen (8) sont alors émis à l'extérieur du trou traversant à cause de l'interaction avec le champ magnétique intense. Une lentille de focalisation (50) est agencée de sorte qu'il existe un point de focalisation de particules chargées entre la lentille de focalisation (50) et le spécimen (8), les particules chargées étant formées lorsque les particules chargées de même intensité que celle des particules chargées irradiantes sont supposées être émises par la surface du spécimen, afin de focaliser les particules chargées (46) en une position du point de focalisation. Par conséquuent, même lorsque le spécimen (8) est soumis au champ électromagnétique intense les particules chargées (46) peuvent être focalisées sur la surface supérieure du spécimen. On peut ainsi obtenir, grâce aux électrons secondaires, une image bien définie de la surface du spécimen par l'application du champ magnétique intense, et on peut observer l'image à électrons secondaires du fond ou du côté du trou traversant.