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发明名称 PROCESS FOR MAKING HEALING DIELECTRIC LAYERS BY POLYMERISATION OF GASES
摘要
申请公布号 EP0097945(B1) 申请公布日期 1988.06.01
申请号 EP19830106250 申请日期 1983.06.27
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 PACHONIK, HORST, DIPL.-PHYS.;SEEBACHER, GERHARD, DR., DIPL.-PHYS.
分类号 H01G4/015;H01B3/46;H01G4/14;H01G4/30;(IPC1-7):H01G4/18;H01G4/24 主分类号 H01G4/015
代理机构 代理人
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