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发明名称 RADIO FREQUENCY HEATER OF PLASMA
摘要
申请公布号 JPS63128600(A) 申请公布日期 1988.06.01
申请号 JP19860273577 申请日期 1986.11.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHINOHARA HIROFUMI
分类号 H05H1/18 主分类号 H05H1/18
代理机构 代理人
主权项
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