发明名称 A MULTI-LAYERED AMORPHOUS SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 EP0122047(B1) 申请公布日期 1988.06.01
申请号 EP19840301599 申请日期 1984.03.09
申请人 EXXON RESEARCH AND ENGINEERING COMPANY 发明人 ABELES, BENJAMIN;TIEDJE, JOHN THOMAS
分类号 H01L29/812;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/15;H01L29/16;H01L29/26;H01L29/778;H01L31/0352;H01L31/10;H01L33/00;H01L47/00;(IPC1-7):H01L29/16;H01L29/04;H01L29/24 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
地址