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发明名称
A MULTI-LAYERED AMORPHOUS SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号
EP0122047(B1)
申请公布日期
1988.06.01
申请号
EP19840301599
申请日期
1984.03.09
申请人
EXXON RESEARCH AND ENGINEERING COMPANY
发明人
ABELES, BENJAMIN;TIEDJE, JOHN THOMAS
分类号
H01L29/812;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/15;H01L29/16;H01L29/26;H01L29/778;H01L31/0352;H01L31/10;H01L33/00;H01L47/00;(IPC1-7):H01L29/16;H01L29/04;H01L29/24
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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