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发明名称 VERFAHREN DES EPITAXIALEN WACHSTUMS VON VERBINDUNGSHALBLEITERN
摘要
申请公布号 DE3739639(A1) 申请公布日期 1988.06.01
申请号 DE19873739639 申请日期 1987.11.23
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORP.;NISHIZAWA,JUNICHI;SANYO ELECTRIC CO.,LTD.;OKI ELECTRIC INDUSTRY CO.,LTD. 发明人 DER ERFINDER WIRD NACHTRAEGLICH BENANNT
分类号 H01L29/812;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/263;H01L21/338;H01L21/365;H01L29/778;(IPC1-7):H01L21/205;C30B31/08;C30B29/40;C30B29/48 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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