| 发明名称 |
INTERFEROMETRIC METROLOGY OF SURFACE FIGURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0137976(A3) |
申请公布日期 |
1988.06.01 |
| 申请号 |
EP19840109952 |
申请日期 |
1984.08.21 |
| 申请人 |
THE PERKIN-ELMER CORPORATION |
发明人 |
BYSTRICKY, KARL M. |
| 分类号 |
G01M11/00;G01B11/30;G02B5/18;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01M11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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