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发明名称 INSPECTION OF THIN FILM TRANSISTOR ARRAY
摘要
申请公布号 JPS63125986(A) 申请公布日期 1988.05.30
申请号 JP19860272510 申请日期 1986.11.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAMURA TATSUHIKO;NODA HITOSHI;TAKAHARA HIROSHI
分类号 H01L21/66;G09G3/36;H01L27/12 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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