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发明名称 ALIGNMENT OF X RAY OPTICAL SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS63123000(A) 申请公布日期 1988.05.26
申请号 JP19860268936 申请日期 1986.11.12
申请人 JEOL LTD 发明人 BAN ETSUO;ITO HARUMASA
分类号 G21K7/00 主分类号 G21K7/00
代理机构 代理人
主权项
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