| 发明名称 |
DEVICE FOR MEASURING THE THICKNESS OF THIN FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2168145(B) |
申请公布日期 |
1988.05.25 |
| 申请号 |
GB19840030762 |
申请日期 |
1984.12.05 |
| 申请人 |
HELMUT * FISCHER GMBH & CO INSTITUT FUR ELEKTRONIK UND MESSTECHNIK |
发明人 |
T D T * LATTER |
| 分类号 |
G01B15/02;(IPC1-7):G01B15/02 |
主分类号 |
G01B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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